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Zincoxidefilms相关论文
氧分压强和基片温度对脉冲激光沉积的ZnO:Al膜性能的影响
利用脉冲激光法制备了ZnO:Al透明导电膜。通过对膜进行霍尔系数测量及SEM、XRD测试分析,详细研究了沉积时基片温度、氧分压强对膜的透光率和电阻......
期刊
脉冲激光沉积
ZnO膜
基片温度
氧分压强
pulsed laser deposition
zinc oxide films
substrate tempera
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